製品紹介

真空巻取装置 RVC−W

製品概要

真空中でフィルムを搬送するROLL TO ROLL方式でフィルムにコーティングをする装置。

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スペック例

排気システム 油回転ポンプ+ターボ分子ポンプ
巻取システム 張力フィードバック制御+速度制御
排気速度 5×10−3Paまで15分以内
到達圧力 7×10−4Pa以下
フィルム速度 0.5〜10m/min
フィルム幅 10mm

詳細

実験用装置として成膜源のないモデルです。
ご要望により各種コンポーネットの組み合わせが可能です。

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