製品紹介

特殊真空巻取式スパッタ装置 RVS−FWS

製品概要

真空中でフィルムを搬送するROLL TO ROLL方式でフィルムにコーティングをする装置。

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スペック例

排気システム 油回転ポンプ+拡散ポンプ
巻取システム 張力フィードバック制御+速度制御
排気速度 2×10−3Paまで30分以内
到達圧力 1×10−4Pa以下
ターゲット 3基
前処理 加熱ヒータ 3Kw
冷却ロール −10℃〜60℃
フィルム速度 0.2〜50m/min
フィルム幅 500mm

詳細

真空薄膜コーテイングで高機能フィルムの実験用装置。
排気システム、蒸発源、フィルム速度、フィルムサイズなどご要望により各種対応しております。

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