製品紹介

真空巻取式スパッタ装置 RVS−FW

製品概要

真空中でフィルムを搬送するROLL TO ROLL方式でフィルムにコーティングをする装置。

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スペック例

排気システム 油回転ポンプ+拡散ポンプ+ポリコールドチラー+調圧バルブ
巻取システム 張力フィードバック制御+速度制御
排気速度 2×10−3Paまで15分以内
到達圧力 1×10−4Pa以下
ターゲット 3基
前処理 加熱ヒータ 3Kw
冷却ロール −10℃〜60℃
フィルム速度 0.5〜10m/min
フィルム幅 700mm
フィルム長 300m

詳細

真空薄膜コーテイングで高機能フィルムの生産用装置。
排気システム、蒸発源、フィルム搬送速度、フィルム幅、加熱ヒータなどご要望により各種対応しております。

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